produk Cari
kategori produk

Standard Wafer Penentukuran

Standard Kalibrasi Wafer dan piawaian penentukuran mutlak untuk alat Tencor Surfscan, Hitachi dan KLA-Tencor

Standard Wafer Penentukuran
Standard Wafer Penentukuran adalah piawaian wafer yang boleh dilacak, PSL wafer dengan Sijil Saiz termasuk, didepositkan dengan manik lateks polistirena monodisperse dan puncak saiz sempit antara mikron 50nm dan 10 untuk menentukur lengkung tindak balas saiz Tencor Surfscan 6220 dan 6440, KLA-Tencor Surfscan SP1 , SP2 dan sistem pemeriksaan wafer SP3. Standard Wafer Penentukuran dikepositkan sebagai Deposition Penuh dengan saiz zarah tunggal di seluruh wafer; atau disimpan sebagai Pengendalian SPOT dengan 1 atau lebih tinggi piawaian saiz zarah, tepatnya terletak di sekitar piawaian wafer.

Ini ialah Mikrosfera Polistirena biasa yang telah disimpan oleh pelanggan pada Piawaian Wafer Penentukuran 75mm hingga 300mm mereka:

Sfera PSL, 20-900nm | Sfera PSL, 1-160um | Sfera PSL, SurfCal

Piawaian Wafer Penentukuran menggunakan Zarah Mikrosfera Polistirena

PERMINTAAN SEBUTHARGA
Applied Physics menyediakan Piawaian Wafer Kalibrasi menggunakan Piawaian Saiz Zarah untuk menentukur ketepatan saiz KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, KLA-Tencor Surscan SP5xp, Surfscan 6420, Surfscan , Surfscan 6220, ADE, Hitachi dan Topcon SSIS alatan dan sistem pemeriksaan wafer. Sistem Pemendapan Zarah 6200 XP2300 kami boleh mendepositkan pada wafer silikon 1mm, 100mm, 125mm, 150mm dan 200mm menggunakan NIST Traceable, PSL Spheres (standard saiz zarah lateks polistirena) dan piawaian saiz zarah Silika.

Piawaian wafer penentukuran PSL ini digunakan oleh Pengurus Metrologi Semikonduktor untuk menentukur keluk tindak balas saiz Sistem Pemeriksaan Permukaan Pengimbasan (SSIS) yang dikeluarkan oleh KLA-Tencor, Topcon, ADE dan Hitachi. Piawaian Wafer PSL juga digunakan untuk menilai cara seragam alat Tencor Surfscan mengimbas merentasi wafer termendap silikon atau filem.

Standard Wafer Penentukuran digunakan untuk mengesahkan dan mengawal dua spesifikasi alat SSIS: ketepatan saiz pada saiz zarah tertentu dan keseragaman imbasan merentas wafer semasa setiap imbasan. Wafer penentukuran paling sering disediakan sebagai pemendapan penuh pada satu saiz zarah, biasanya antara mikrob 50nm dan 12. Dengan mendepositkan wafer, iaitu pemendapan penuh, kunci sistem pemeriksaan wafer di atas puncak zarah, dan operator dengan mudah boleh menentukan sama ada alat SSIS dalam spesifikasi pada saiz ini. Sebagai contoh, jika piawai wafer adalah 100nm, dan alat SSIS mengimbas puncak pada 95nm atau 105nm, maka alat SSIS adalah daripada penentukuran dan boleh ditentukur menggunakan Standard Wafer 100nm PSL. Mengimbas merentas piawaian wafer juga memberitahu juruteknik seberapa baik alat SSIS mengesan seluruh PSL Wafer Standard, mencari kesamaan pengesanan zarah merentas piawaian wafer yang didepositkan seragam. Permukaan piawai wafer didepositkan dengan saiz PSL tertentu, tidak meninggalkan bahagian wafer yang tidak didepositkan dengan PSL Spheres. Semasa imbasan Standard Wafer PSL, keseragaman imbasan merentas wafer harus menunjukkan alat SSIS tidak menghadap ke kawasan tertentu wafer semasa imbasan. Kira ketepatan pada wafer Deposisi Penuh adalah subyektif, kerana Kecekapan Penghitungan dua alat SSIS yang berlainan (tapak Deposisi dan laman Pelanggan) adalah berbeza, kadang-kadang sebanyak 50 peratus. Oleh itu, Standard Wafer Partikel yang sama didepositkan dengan puncak saiz 204nm yang sangat tepat pada kiraan 2500 dan dikira oleh alat SSIS 1, boleh diimbas oleh SSIS 2 di tapak pelanggan dan kiraan puncak 204nm yang sama boleh dikira di mana-mana di antara kiraan 1500 ke kiraan 3000. Perbezaan antara kedua-dua alat SSIS ini adalah kerana kecekapan laser bagi setiap PMT (Photo Multiplier Tube) yang beroperasi di dua alat SSIS berasingan. Kira ketepatan antara dua sistem pemeriksaan wafer berbeza biasanya berbeza kerana perbezaan kuasa laser dan intensiti sinar laser kedua-dua sistem pemeriksaan wafer.

Kalibrasi Wafer Standard, Deposisi penuh, 5um - Penentukuran Standard Wafer, Spot Deposition, 100nm

Piawaian PSL Calibration Wafer terdapat dalam dua jenis deposit: Penetapan Penuh dan Pemendapan Tempat seperti di atas.

Sama ada manik lateks polystyrene (PSL Spheres) atau nanopartikel silika boleh didepositkan.

PSL Wafer Standards dengan Spot Deposition digunakan untuk menentukur ketepatan ukuran alat SSIS pada satu ukuran puncak atau pelbagai ukuran puncak.

Piawaian Wafer Penentukuran dengan Pemendapan Titik mempunyai kelebihan kerana tempat Sfera PSL yang didepositkan pada wafer kelihatan jelas sebagai titik, dan permukaan wafer yang tinggal di sekitar pemendapan titik dibiarkan bebas daripada sebarang Sfera PSL. Kelebihannya ialah dari masa ke masa, seseorang boleh mengetahui bila Piawaian Wafer Kalibrasi terlalu kotor untuk digunakan sebagai piawai rujukan saiz. Pemendapan Titik memaksa semua Sfera PSL yang dikehendaki ke permukaan wafer di lokasi tempat terkawal; oleh itu sangat sedikit sfera PSL dan ketepatan kiraan yang dipertingkatkan adalah hasilnya. Applied Physics menggunakan Model 2300XP1 menggunakan teknologi DMA (Differential Mobility Analyzer) untuk memastikan puncak saiz PSL yang boleh dikesan NIST yang disimpan adalah tepat dan dirujuk kepada Piawaian Saiz NSIT. CPC digunakan untuk mengawal ketepatan kiraan. DMA direka untuk mengeluarkan zarah yang tidak diingini seperti Doublets dan Triplets daripada aliran zarah. DMA juga direka untuk mengeluarkan zarah yang tidak diingini di kiri dan kanan puncak zarah; sekali gus memastikan puncak zarah monodispersi termendap pada permukaan wafer. Pendepositan tanpa teknologi DMA membenarkan penggandaan, kembar tiga dan zarah latar belakang yang tidak diingini untuk didepositkan pada suramuka wafer, bersama-sama dengan saiz zarah yang diingini.

Teknologi Menghasilkan Standard Wafer Kalibrasi PSL
Standard Wafer PSL secara amnya dihasilkan dalam dua cara: Pengendalian Langsung dan DMA Terkawal Deposit.

Applied Physics boleh menggunakan kedua-dua kawalan Pemendapan DMA dan kawalan Pemendapan Langsung. Kawalan DMA memberikan ketepatan saiz paling banyak di bawah 150nm dengan menyediakan taburan saiz yang sangat sempit dengan Jerebu, berganda dan kembar tiga yang didepositkan di latar belakang. Ketepatan kiraan yang sangat baik juga disediakan. Pemendapan Langsung PSL memberikan pemendapan yang baik dari 150nm sehingga 5 mikron.

Deposisi Langsung

Kaedah Deposisi Langsung menggunakan sumber silikon lateks polystyrene monodisperse atau sumber silikon nano-monodisperse, dicairkan kepada kepekatan yang sesuai, dicampur dengan aliran udara yang sangat ditapis atau aliran nitrogen kering dan diseragamkan secara seragam melalui wafer silikon atau topeng foto kosong sebagai pemendapan penuh atau pemendapan tempat. Pengendalian Langsung kurang mahal, tetapi ketepatan saiz yang kurang tepat. Ia lebih baik digunakan untuk titisan PSL dari 1 micron hingga 12 microns.

Sekiranya beberapa syarikat menghasilkan saiz lateks lateks polistirena yang sama, contohnya pada 204nm, seseorang boleh mengukur sebanyak 3 peratus perbezaan dalam saiz puncak dua pelepasan PSL dari syarikat. Kaedah pengilangan, instrumen pengukur dan teknik pengukuran menyebabkan delta ini. Ini bermakna apabila mendepositkan bola lateks polistirena sebagai "Direct Deposition" dari sumber botol, saiz yang didepositkan tidak dianalisis oleh penganalisis pergerakan yang berbeza, dan hasilnya akan menjadi variasi saiz apa pun, yang terdapat dalam sumber botol lateks polystyrene. DMA mempunyai keupayaan untuk mengasingkan puncak saiz yang sangat spesifik

Penganalisis Mobiliti Berbeza, DMA Penambatan Semulajadi

Kaedah yang kedua dan jauh lebih tepat ialah DMA (Pengubahsuaian Mobiliti Berbeza) Kawalan Deposisi. Kawalan DMA membolehkan parameter utama seperti aliran udara, tekanan udara dan DMA Voltage dikawal, sama ada secara manual atau melalui kawalan resepi automatik, ke atas PSL Spheres dan zarah silika yang akan didepositkan. DMA dikalibrasi kepada NIST Standards pada 60nm, 102nm, 269nm dan 895nm. Sfera PSL dan zarah Silika diencerkan dengan DI Air ke kepekatan yang dikehendaki, kemudian diisap ke dalam aerosol dan bercampur dengan Air Kering atau Nitrogen Kering untuk menguap air DI mengelilingi setiap sfera atau zarah. Gambar gambarajah di sebelah kanan menerangkan prosesnya. Aliran aerosol kemudiannya menunaikan dineutralkan untuk menghapuskan caj dua kali ganda dari aliran udara zarah. Aliran zarah kemudian diarahkan kepada DMA menggunakan kawalan aliran udara yang sangat tepat menggunakan pengawal aliran jisim; dan kawalan voltan menggunakan bekalan kuasa yang sangat tepat. DMA mengasingkan puncak zarah yang dikehendaki dari aliran udara, sementara juga menghilangkan zarah latar belakang yang tidak diingini di sebelah kiri dan kanan puncak saiz yang diingini. DMA menyediakan puncak, saiz saiz sempit pada saiz yang tepat yang dikehendaki berdasarkan penentukuran ukuran NIST; yang kemudiannya diarahkan kepada permukaan wafer untuk pemendapan. Puncak zarah yang dikehendaki biasanya 3 peratus atau kurang dalam lebar pengedaran, didepositkan seragam ke seluruh wafer sebagai Pemendapan Penuh, atau didepositkan di tempat putaran kecil di mana-mana di sekitar wafer, yang dipanggil SPOT Deposition. Kira zarah secara serentak dimonitor untuk menghitung permukaan wafer. Kalibrasi DMA menggunakan NIST Standard Ukuran Traceable, memastikan puncak saiz sangat tepat dalam ukuran; dan sempit untuk menyediakan penentukuran saiz zarah hebat untuk sistem pemeriksaan wafer KLA-Tencor SP1 dan KLA-Tencor SP2, SP3, SP5 atau SP5xp.

Jika 204nm PSL Spheres dari dua pengeluar yang berbeza telah digunakan dalam DMA dikawal, Sistem Pemendapan Semulajadi, DMA akan mengasingkan puncak saiz tepat yang sama dari kedua-dua botol PSL yang berbeza, supaya 204nm yang tepat akan didepositkan ke permukaan wafer.

DMA dikawal, Sistem Pemendapan Semulajadi dapat memberikan ketepatan pengiraan yang lebih baik, serta kawalan resapan komputer ke atas keseluruhan pemendapan. Di samping itu, sistem berasaskan DMA boleh menyimpan silika nano-zarah dari 50nm hingga 2 mikron dalam diameter zarah silika.

Piawaian Wafer Penentukuran – Minta Sebut Harga
Piawaian Wafer Penentukuran PSL Daripada Applied Physics Inc.PSL Calibration Wafer Standard From Applied Physics Inc.