produk Cari
kategori produk

Surf-Cal, Piawaian Saiz Zarah, Isipadu 50ml, Pra-Campuran hingga 1x10E8 dan 1x10E10 Kepekatan / ml

Piawaian Saiz Zarah SURF-CAL™ digunakan dalam penentukuran saiz dan pemantauan Sistem Pemeriksaan Permukaan Pengimbasan (SSIS). Saiz zarah di bawah sepadan dengan saiz zarah penentukuran yang diperlukan oleh pengeluar instrumen. Anda harus melengkapkan pemeriksaan penentukuran berkala dan pemantauan saiz dan kiraan mingguan untuk memastikan pengimbas pemeriksaan wafer anda dibandingkan dengan pengimbas di lokasi lain. Semua mikrosfera polistirena terampai dalam air ternyahion, ditapis dalam isipadu botol 50mL pada kepekatan 3 × 10 E8 atau 1 × 10 E10 zarah per mL. Saiz yang dinyatakan dengan * adalah serupa dengan zarah NIST SRM pada diameter tersebut. Indeks Biasan ialah 1.59 @ 589nm (25C) untuk semua mikrosfera polistirena di bawah. Setiap botol stabil selama 12 bulan dan dibungkus dengan Sijil Penentukuran dan Kebolehkesanan kepada NIST.

Dengan mendepositkan sfera PSL (lateks polistirena) SURF-CAL, NIST yang boleh dikesan pada silikon kosong dan wafer corak, anda boleh melakukan semakan penentukuran saiz berkala pada alatan KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS anda dan bandingkan pengimbas pemeriksaan wafer anda dengan pengimbas di lokasi lain. Anda juga boleh menilai prestasi SSIS anda pada peringkat kritikal dalam proses pembuatan. Semua produk digantung dalam air ternyahion, ditapis (air DI) dalam botol 50 mL pada kepekatan 3 x10 e10 zarah/mL atau 1 x10 e10 zarah/mL. Piawaian saiz zarah Surf-Cal ini ialah mikrosfera polistirena yang telah bersaiz oleh Penganalisis Mobiliti Berbeza (DMA) atau teknik pengecualian saiz lain.

Nombor bahagian

Kiraan Kepekatan/ml

Diameter Zarah

Pengedaran Saiz

 Harga setiap 50 ml Botol

APPD-0473 x 108 zarah/mL0.047 μm0.004μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

APPD-047B1 x 1010 zarah/mL0.047 μm0.004μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

APPD-0643 x 108 zarah/mL0.064 μm0.003μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

APPD-064B1 x 1010 zarah/mL0.064 μm0.003μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

APPD-0833 x 108 zarah/mL0.083 μm0.004μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-083B1 x 1010 zarah/mL0.083 μm0.004μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-0923 x 108 zarah/mL0.092 μm0.004μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-092B1 x 1010 zarah/mL0.092 μm0.004μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-100*3 x 108 zarah/mL0.100 μm0.003μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-100B*1 x 1010 zarah/mL0.100 μm0.003μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-1253 x 108 zarah/mL0.126 μm0.003μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-125B1 x 1010 zarah/mL0.126 μm0.003μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-1553 x 108 zarah/mL0.155 μm0.003μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-155B1 x 1010 zarah/mL0.155 μm0.003μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-2003 x 108 zarah/mL0.202 μm0.004μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-200B1 x 1010 zarah/mL0.202 μm0.004μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-2043 x 108 zarah/mL0.204 μm0.004μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-204B1 x 1010 zarah/mL0.204 μm0.004μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-2153 x 108 zarah/mL0.220 μm0.003μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-215B1 x 1010 zarah/mL0.220 μm0.003μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-3053 x 108 zarah/mL0.304 μm0.004μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-305B1 x 1010 zarah/mL0.304 μm0.004μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-3653 x 108 zarah/mL0.360 μm0.005μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-365B1 x 1010 zarah/mL0.360 μm0.005μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-5003 x 108 zarah/mL0.498 μm0.006μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-500B1 x 1010 zarah/mL0.498 μm0.006μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-8003 x 108 zarah/mL0.809 μm0.006μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-800B1 x 1010 zarah/mL0.809 μm0.006μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-8023 x 108 zarah/mL0.802 μm0.009μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD-802B1 x 1010 zarah/mL0.802 μm0.009μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD11003 x 108 zarah/mL1.112 μm0.011μm

$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD1100B1 x 1010 zarah/mL1.112 μm0.011μm

$ 1495.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

AP PD16003 x 108 zarah/mL1.59 μm0.016μm$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA
AP PD20003 x 108 zarah/mL2.01 μm0.019μm$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA
AP PD30003 x 108 zarah/mL3.04 μm0.026μm$ 295.00   MASUKKAN KE DALAM KARTA

Kaedah Pengukur:

Untuk memastikan kebolehkesanan NIST, diameter produk yang diperakui telah dipindahkan melalui elektron penghantaran atau mikroskop optik daripada bahan rujukan standard NIST (2). Ketidakpastian dikira menggunakan Nota Teknikal NIST 1297, Edisi 1994 "Garis Panduan untuk Menilai dan Menyatakan Ketidakpastian Keputusan Pengukuran NIST" (4). Ketidakpastian yang disenaraikan ialah ketidakpastian yang diperluas dengan faktor liputan dua (K=2). Diameter puncak dikira menggunakan kira-kira julat ± 2s taburan saiz zarah. Taburan saiz dikira sebagai sisihan piawai (SDS) bagi keseluruhan puncak. Pekali Variasi (CV) ialah satu sisihan piawai yang dinyatakan sebagai peratusan diameter puncak. Taburan FWHM (lebar penuh pada Separuh Maksimum) dikira sebagai taburan pada separuh daripada ketinggian puncak dinyatakan sebagai peratusan diameter puncak.

1. "Pelan Hala Tuju Teknologi Kebangsaan untuk Semikonduktor", Persatuan Industri Semikonduktor (1999)

2. SD Duke dan EB Layendecker, "Kaedah Standard Dalaman untuk Penentukuran Saiz Zarah Sfera Sub-Micron oleh Mikroskopi Elektron", Persatuan Zarah Halus (1988)

3. SEMI M52 - Panduan untuk Menentukan Sistem Pemeriksaan Surface untuk Wafers Silikon yang Generasi Teknologi 130 nm.

4. Barry N. Taylor dan Chris E. Kuyatt, "Garis Panduan untuk Menilai dan Menyatakan Ketidakpastian Keputusan Pengukuran NIST". Nota Teknikal NIST 1297, edisi 1994, September 1994.

Translate »