Standard saiz zarah silika

Di makmal metrologi semikonduktor hari ini, alat pemeriksaan wafer, menggunakan laser berkuasa tinggi untuk mengimbas wafer silikon 200 mm dan 300 mm untuk mengesan zarah permukaan hingga <30 nanometer. Semasa menentukur sistem pengimbasan daya laser tinggi, penentukuran ukuran sangat penting, untuk mengesan pada 30 nm; dan untuk mengukur zarah dengan tepat dalam julat ukuran. Penentukuran ukuran menggunakan laser berkuasa tinggi dan sfera lateks polistirena tradisional untuk penentukuran mungkin sukar, kerana daya laser yang tinggi dapat mengecilkan sfera lateks. Penyelesaiannya menggunakan partikel silika, ukuran standard pada 20 nm, 30 nm, 50 nm, 100 nm, 500 nm, 1 µm dan 2 µm. Kelebihannya ialah silika tidak akan berkerut di bawah daya laser yang tinggi, sehingga secara konsisten memberikan puncak ukuran tepat untuk penentukuran; dan zarah-zarah silika mempunyai indeks biasan yang sangat dekat dengan zarah getah polistirena. Piawaian Wafer Pencemaran Silika; Standard saiz zarah silika

zarah silika
Standard Wafer Pencemaran
Translate »