PSL Spheres 47 nm, isipadu botol 50ml Manik Lateks Polistirena

Surf-Cal, Piawaian Saiz Sekali, Volume 50ml, Pra-Campuran Kepekatan 1x10E10 / ml

SURF-CAL PSL spheres memudahkan kerja penyediaan wafer penentukuran di kemudahan anda dengan menyediakan sfera PSL pra-campuran dalam botol 50ml. Saiz zarah bersesuaian dengan saiz titik penentukuran yang diperlukan oleh pengeluar instrumen. Kepekatan zarah adalah zarah 1 x 10 e10 per mL. Pengilangan SEMI telah menuntut saiz zarah tertentu yang akan digunakan semasa menentukur Sistem Pemeriksaan Surface Pengimbasan, juga merujuk kepada alat pemeriksa wafer. Bekerja dengan pengilang instrumen SURF-CAL PSL sfera memenuhi garis panduan standard M52 (3) dan M53 SEMI. Ukuran yang ada adalah nod ukuran kritis seperti yang ditakrifkan oleh Roadmap Teknologi Antarabangsa untuk Semikonduktor, ITRS (1).

Dengan mendepositkan sfera PSL (lateks polistirena) SURF-CAL, NIST yang boleh dikesan pada silikon kosong dan wafer corak, anda boleh melakukan semakan penentukuran saiz berkala pada alatan KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS anda dan bandingkan pengimbas pemeriksaan wafer anda dengan pengimbas di lokasi lain. Anda juga boleh menilai prestasi SSIS anda pada peringkat kritikal dalam proses pembuatan. Semua produk terampai dalam air ternyahion, ditapis (air DI) dalam botol 50 mL pada kepekatan 3 x10e10zarah per mL. Sfera PSL ini telah bersaiz oleh Penganalisis Mobiliti Berbeza (DMA) atau teknik pengecualian saiz lain.

kategori: PSL Sphere Tags: 1x10e10, 50ml, kepekatan, zarah, pra-campuran, saiz standard zarah manik lateks PSL, saiz, sfera, standard, surf-cal,, kelantangan,

Deskripsi

Kaedah Pengukur:
Untuk memastikan kebolehkesanan NIST, diameter produk yang diperakui telah dipindahkan melalui elektron penghantaran atau mikroskop optik daripada bahan rujukan standard NIST (2). Ketidakpastian dikira menggunakan Nota Teknikal NIST 1297, Edisi 1994 "Garis Panduan untuk Menilai dan Menyatakan Ketidakpastian Keputusan Pengukuran NIST" (4). Ketidakpastian yang disenaraikan ialah ketidakpastian yang diperluas dengan faktor liputan dua (K=2). Diameter puncak dikira menggunakan kira-kira julat ± 2s taburan saiz zarah. Taburan saiz dikira sebagai sisihan piawai (SDS) bagi keseluruhan puncak. Pekali Variasi (CV) ialah satu sisihan piawai yang dinyatakan sebagai peratusan diameter puncak. Taburan FWHM (lebar penuh pada Separuh Maksimum) dikira sebagai taburan pada separuh daripada ketinggian puncak dinyatakan sebagai peratusan diameter puncak.

1. "Pelan Hala Tuju Teknologi Kebangsaan untuk Semikonduktor", Persatuan Industri Semikonduktor (1999)

2. SD Duke dan EB Layendecker, "Kaedah Standard Dalaman untuk Penentukuran Saiz Zarah Sfera Sub-Micron oleh Mikroskopi Elektron", Persatuan Zarah Halus (1988)

3. SEMI M52 - Panduan untuk Menentukan Sistem Pemeriksaan Surface untuk Wafers Silikon yang Generasi Teknologi 130 nm.

4. Barry N. Taylor dan Chris E. Kuyatt, "Garis Panduan untuk Menilai dan Menyatakan Ketidakpastian Keputusan Pengukuran NIST". Nota Teknikal NIST 1297, edisi 1994, September 1994.

Surf-Cal, Piawaian Saiz Sekali, Volume 50ml, Pra-Campuran Kepekatan 1x10E10 / ml

Produk Berkaitan

Penentukuran Manik Lateks Polistirena PSL

Sfera PSL, 40 nm, botol 15ml, Manik Lateks Polistirena

Sfera PSL, isipadu botol 30 nm 15ml Manik Lateks Polistirena

PSL Spheres, 450 nm, jumlah botol 15ml, Manik Latex Polistirena, Sijil Kalibrasi NIST Boleh Dicasut, termasuk